在第三代半導體材料制備環(huán)節(jié)中，感應爐作為核心加熱裝備，運行品質(zhì)直接影響材料純度與成品穩(wěn)定性。星特亮自主研發(fā)的 6 英寸感應爐，依托多年半導體設備研發(fā)積淀，結合第三代半導體材料生長實際需求，完成技術與工藝雙向升級，成為國內(nèi) 6 英寸半導體材料制備的優(yōu)質(zhì)適配設備。

該款 6 英寸感應爐采用成熟電磁感應加熱原理，借助物料感應電熱效應實現(xiàn)高效升溫，可在大氣、真空、保護氣氛等多種環(huán)境下完成加熱、熔煉等工序，高度適配第三代半導體材料制備場景，在透熱處理、高阻合金熔煉、純金屬加工等場景表現(xiàn)突出。設備搭載智能控制系統(tǒng)，實現(xiàn)溫度精準調(diào)節(jié)，保障加熱過程平穩(wěn)均勻，減少溫度波動帶來的性能偏差，助力企業(yè)提升成品良率。

依托內(nèi)部專業(yè)研發(fā)團隊（18 名全職研發(fā)人員 + 5 名兼職研發(fā)人員）協(xié)同攻關，6 英寸感應爐在結構布局、能耗管控層面持續(xù)優(yōu)化，搭配特殊結構磁軛與異型線圈導體，合理降低熔煉耗電量，兼顧作業(yè)效率與節(jié)能屬性。

目前，該產(chǎn)品已通過國家電爐檢測中心嚴苛檢測，憑借穩(wěn)定性能收獲市場廣泛認可，與國內(nèi)多家半導體企業(yè)達成長期合作，同時布局海外市場，為 6 英寸半導體材料規(guī)�；�生產(chǎn)提供可靠設備支撐。

隨著第三代半導體產(chǎn)業(yè)向大尺寸、高功率方向迭代，8 英寸半導體材料市場需求持續(xù)攀升，配套專用裝備成為產(chǎn)業(yè)升級的關鍵支撐。星特亮緊跟行業(yè)發(fā)展趨勢，自主研發(fā) 8 英寸電阻爐，依托成熟熱場設計與精密控溫能力，補足國內(nèi)同類設備技術短板，助力本土大尺寸半導體設備實現(xiàn)自主可控。

作為星特亮核心主力產(chǎn)品，8 英寸電阻爐采用石墨電阻發(fā)熱模式，通過熱輻射傳導至石墨坩堝，實現(xiàn)全域均勻加熱；創(chuàng)新軸徑分離結構設計，便于生產(chǎn)過程缺陷管控，優(yōu)良徑向溫場環(huán)境，可實現(xiàn)低應力、低裂損生產(chǎn)，充分滿足 8 英寸碳化硅等第三代半導體材料的嚴苛制備標準。

設備搭載微電腦 PID 智能控制器，支持多段工藝程序自定義設置，可精準預設升溫、恒溫、降溫完整曲線，控溫精準、溫場均勻；搭配健全的防護機制，具備超溫、過流、開門斷電等多重安全防護，保障設備長期平穩(wěn)運行。

憑借企業(yè)在半導體設備領域的長期技術積累，疊加 31 項專利技術賦能（發(fā)明專利 3 項、實用新型專利 18 項），8 英寸電阻爐在工藝適配性、智能化程度上持續(xù)升級，可結合客戶生產(chǎn)工況提供定制化方案，保障襯底低缺陷、高良率生產(chǎn)。

現(xiàn)階段設備已實現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)，全面供應國內(nèi)市場，并出口俄羅斯等地區(qū)，為第三代半導體大尺寸產(chǎn)業(yè)化發(fā)展提供核心裝備保障。